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题名:
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NEMS传感器的研制与应用 / 谭苗苗著 , |
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ISBN:
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978-7-5024-7442-3 价格： 28.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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109页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 冶金工业出版社 出版日期： 2017.01 |
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内容提要:
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本书概述了NEMS传感器的结构类型、加工工艺类型和常用的测试方案，并针对国内外NEMS传感器研究取得的研究成果和发展现状进行了总结分析；针对NEMS传感器比较常见的场效应晶体管结构，详细阐述了两种不同的一维纳米结构组装NEMS器件的工艺方法，以及器件电路结构加工工艺等。 |
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主题词:
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机电系统 传感器 |
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中图分类法:
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TM7 版次： 5 |
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主要责任者:
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谭苗苗 著 |