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题名:
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集成电路制造工艺
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史小波，曹艳编著
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ISBN:
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978-7-121-04970-5
价格：
18.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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156页
图
26cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
电子工业出版社
出版日期：
2007.09
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内容提要:
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本书介绍了集成电路的基本概念和背景知识，系统介绍了半导体材料、硅平面工艺流程、封装测试等内容。
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主题词:
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集成电路工艺
高等教育
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主题词:
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集成电路工艺
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中图分类法:
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TN405
版次：
4
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主要责任者:
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史小波
编著
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主要责任者:
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曹艳
编著
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附注:
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普通高等教育“十一五”国家级规划教材
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