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题名:
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集成电路(IC)制程简论 / 田民波编著 , |
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ISBN:
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978-7-302-20959-1 价格： 33.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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15,244页 图 23cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 2009.12 |
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内容提要:
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本书介绍了集成电路制程，以特征线宽130nm以下为重点，涉及集成电路制作工艺的各个方面，特别是包括短波长光源、步进与扫描照相曝光系统、CMP平坦化、双大马士革Cu布线、低-k介质材料、SoC与SiP等。 |
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主题词:
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集成电路 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 4 |
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主要责任者:
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田民波 编著 |