|
题名:
|
微机电系统与设计
/
娄利飞编著
,
|
|
ISBN:
|
978-7-121-10808-2
价格：
28.00
|
|
语种:
|
chi
|
|
载体形态:
|
204页
图
26cm
|
|
出版发行:
|
出版地：
北京
出版社：
电子工业出版社
出版日期：
2010.05
|
|
内容提要:
|
本书全面、系统地介绍了微机电系统的相关知识，并给出了大量实例，本书共分8章，包括：微机电系统概论、微机电系统的工作原理等。
|
|
主题词:
|
微电子技术
|
|
主题词:
|
微电子技术
|
|
中图分类法:
|
TN4
版次：
4
|
|
主要责任者:
|
娄利飞
编著
|
|
附注:
|
电子信息与电气学科规划教材·电子科学与技术类
|