题名:
硅基纳米电子学   / 姜岩峰编著 ,
ISBN:
978-7-122-09629-6 价格: 45.00
语种:
chi
载体形态:
215页 图 26cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 化学工业出版社 出版日期: 2011.03
内容提要:
本书内容分为两个部分,第一部分系统地阐述了纳米电子学的基本概念和理论,主要包括现代集成电路的物理极限和技术障碍、用于硅基纳米器件的主要加工工艺;第二部分介绍新型纳米尺度的电子器件,包括共振隧穿器件、单电子器件及其电路等。 
主题词:
硅基材料   纳米材料
主题词:
硅基材料  
主题词:
纳米材料  
主题词:
电子器件  
中图分类法:
TN103 版次: 4
主要责任者:
姜岩峰 编著