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题名:
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半导体芯片制造技术 / 杜中一主编 , |
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ISBN:
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978-7-121-15396-9 价格： 25.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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152页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2012.02 |
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内容提要:
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本书介绍了半导体芯片制造技术，内容包括半导体芯片制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积等。 |
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主题词:
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芯片 半导体工艺 |
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主题词:
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芯片 |
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主题词:
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半导体工艺 |
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中图分类法:
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TN430.5 版次： 5 |
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主要责任者:
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杜中一 主编 |
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附注:
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工业和信息产业职业教育教学指导委员会“十二五”规划教材 高等职业教育规划教材·微电子技术专业系列 |