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题名:
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多晶硅生产技术 / 刘秀琼，唐正林主编 , |
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ISBN:
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978-7-122-15622-8 价格： 36.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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252页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2013.01 |
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内容提要:
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本书主要讲述了改良西门子法生产多晶硅的制备原理及生产过程。内容包括三氧氢硅的合成、精馏提纯；三氯氢硅氢还原制备高纯硅、尾气干法回收、硅芯的制备等核心内容。 |
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主题词:
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硅 半导体材料 |
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主题词:
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硅 |
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主题词:
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半导体材料 |
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中图分类法:
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TN304.1 版次： 5 |
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主要责任者:
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刘秀琼 主编 |
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主要责任者:
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唐正林 主编 |
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附注:
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太阳能光伏产业——硅材料系列教材 |