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题名:
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半导体器件TCAD设计与应用 / 韩雁，丁扣宝编著 , |
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ISBN:
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978-7-121-19342-2 价格： 45.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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276页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2013.01 |
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内容提要:
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本书主要内容包括半导体工艺及器件仿真工具Sentaurus TCAD，工艺仿真工具TSUPREM-4及器件仿真工具MEDICI，工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD，工艺及器件仿真工具ISE-TCAD，工艺仿真工具(DIOS)的优化使用，器件仿真工具(DESSIS)的模型分析等。 |
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主题词:
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半导体器件 计算机辅助设计 |
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主题词:
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半导体器件 |
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主题词:
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计算机辅助设计 |
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中图分类法:
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TN303 版次： 5 |
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主要责任者:
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韩雁 编著 |
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主要责任者:
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丁扣宝 编著 |
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附注:
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微电子与集成电路设计系列规划教材 |