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题名:
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纳米集成电路制造工艺
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张汝京等编著
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ISBN:
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978-7-302-36027-8
价格：
69.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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13,433页
图
26cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
清华大学出版社
出版日期：
2014.07
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内容提要:
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本书介绍纳米集成电路的制造工艺，共分19章。内容涉及集成电路制造工艺的方方面面，很多内容是作者在工作过程中积累整理的。对于相关领域的从业人员，有一定的参考价值。
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主题词:
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纳米材料
集成电路工艺
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主题词:
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纳米材料
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主题词:
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集成电路工艺
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中图分类法:
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TN405
版次：
5
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主要责任者:
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张汝京
编著
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