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题名:
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半导体复杂制造系统管理 / 郭永辉著 , |
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ISBN:
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978-7-5493-3582-4 价格： 32.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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240页 图 21cm |
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出版发行:
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出版地： 南昌 出版社： 江西高校出版社 出版日期： 2015.07 |
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内容提要:
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本书分为绪论、半导体复杂制造系统建模及评价、半导体复杂制造系统产能规划、半导体复杂制造系统优化与控制4篇，包括半导体制造工艺概述、半导体制造特性分析、半导体负载制造系统研究综述等内容。 |
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主题词:
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半导体工艺 |
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中图分类法:
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TN305 版次： 5 |
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主要责任者:
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郭永辉 著 |