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题名:
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微制造与纳米技术 / (印)N.P.马哈里克(N. P. Mahalik)等著 , 蔡艳[等]译 |
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ISBN:
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978-7-111-50357-6 价格： 129.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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19,390页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2015.08 |
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内容提要:
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本书主要介绍了微机电系统(MEMS)、微光机电系统(MOEMS)、激光技术在微制造中的应用、平面印刷术、体和表面微加工、纳米修整、误差补偿、碳纳米管等内容。 |
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主题词:
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纳米技术 研究 |
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中图分类法:
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TB383 版次： 5 |
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主要责任者:
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马哈里克 著 |
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次要责任者:
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蔡艳 译 |