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题名:
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微系统设计与制造
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王喆垚编著
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ISBN:
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978-7-302-39167-8
价格：
98.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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742页
图
26cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
清华大学出版社
出版日期：
2015.10
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内容提要:
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本书主要内容包括：微系统基本理论、制造技术、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS，以及微流体和芯片实验室。
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主题词:
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微电子技术
设计
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主题词:
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微电子技术
制造
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中图分类法:
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TN40
版次：
5
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主要责任者:
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王喆垚
编著
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版次:
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2版
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